Прикладне застосування інтерференційного безконтактного 3D профілометру

Abstract

Контактні профілометри широко застосовуються в техніці для оцінки якості оброблених поверхонь. Зазвичай, результати виміру представлені у вигляді малоінформативних профілограм. Для тривимірної реєстрації топографії поверхні з нанометричною роздільною здатністю авторами в 2003 році був розроблений безконтактний інтерференційний профілометр "Micron-beta". Розроблений профілометр було використано при проведенні досліджень, результати яких наведено далі. Прилад призначений для реєстрації мікротопографії поверхонь методом обробки послідовності інтерференційних картин і дозволяє будувати 2D та 3D профілі поверхні, кількісно оцінювати характеристики поверхні з нанометричною роздільною здатністю (всі відомі параметри шорсткості), обчислювати радіус закруглення, обсяг виступу (впадини) та обчислювати площі складної поверхні.

Contact profilometers are widely used in engineering to assess the quality of treated surfaces. Usually, the measurement results are presented in the form of uninformative profilograms. In 2003, the authors developed a non-contact interference profilometer "Micron-beta" for three-dimensional registration of surface topography with nanometric resolution. The developed profilometer was used in conducting research, the results of which are given below. The device is designed for recording the microtopography of surfaces by the method of processing a sequence of interference patterns and allows you to build 2D and 3D surface profiles, quantify surface characteristics with a nanometric resolution (all known roughness parameters), calculate the radius of rounding, the volume of protrusions (valves) and calculate the areas of a complex surface.