Неортогональний інерціальний вимірювач кутової швидкості на основі МЕМС гіроскопів

Abstract

Завдяки розвитку мікро електроніки стало можливо реалізувати точні та компактні вимірювальні пристрої, яким знайшли застосування у самих різних сферах від авіації та навігації до систем безпеки та датчиків у смартфонах. МЕМС гіроскопи представляють із себе вимірювальні пристрої із вимірювальними елементами наступних типів дискові, камертоні, резонансні та п’єзоелектричні . Робота більшості вимірювачів заснована на ефекті Коріоліса. Сучасний ринок мікро механічних гіроскопів має різні рішення як за особливості компонування та конструкції, так і за технологіями виготовлення вимірювальних елементів.. Лідерами виробництва у цій сфері є так компанії як Analog Devices, BEI Systron Donner, Bosch, Melexis та Silicon Sensing System. Враховуючи різні можливості застосування МЕМС гіроскопів необхідно гарантувати дійсність вимірюваних параметрів, для вирішення цієї проблеми використовують надмірність. Надмірність забезпечує не тільки підвищення точності виміряних даних, але й підвищення стійкості до відмови. У ході роботи було оцінено експериментально та теоретично точність інерційного датчика. Було розглянуто ріні варіанти конфігурації датчика, але окрім них є й інші параметри, що значно здатні впливати на точність датчику.