Мікроелектромеханічні системи: Навчальний посібник

Abstract

Розглянуто основні типи мікросистемних пристроїв, їх характеристики, принципи роботи та базові технології мікроелектроніки і виготовлення об’ємних структур мікросистем; наведено класифікації мікросистемної техніки. Аналіз сучасного стану техніки нових поколінь і «критичних» технологій показує, що одним з найбільш глобальних науково-технічних напрямів, які бурхливо розвиваються і визначають нову революцію у сфері систем, реалізованих на мікрорівні, є мікросистемна техніка (МСТ) і створювані на її базі мікроелектромеханічні системи. Мікроелектромеханічні системи (МЕМС) це мікропристрої найрізноманітніших конструкцій і призначень, які виготовлені ідентичними методами з використанням модифікованих технологій мікроелектроніки. Об'єднує їх дві ознаки. Перша - це мікронні розміри, друга - наявність механічних рухомих частин, тобто МЕМС це системи, що містять в собі взаємопов’язані мініатюрні механічні та електричні компоненти мікронних розмірів. Зміст навчального посібника узгоджується з програмою спільного європейського проекту Curricula Development for New Specialization: Master of Engineering in Microsystems Design, який підтримується Європейським Союзом і має, зокрема, за мету впровадження сучасних мікросистемних технологій в поточну програму бакалаврів в українських університетах.