Please use this identifier to cite or link to this item: https://er.nau.edu.ua/handle/NAU/52715
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorФіляшкін, М.К.-
dc.date.accessioned2021-09-29T13:04:04Z-
dc.date.available2021-09-29T13:04:04Z-
dc.date.issued2019-
dc.identifier.citationФіляшкін М.К. Мікроелектромеханічні системи: Навчальний посібник / М.К. Філяшкін – К.: НАУ, 2019. – 276 с.uk_UA
dc.identifier.isbn978-966-932-123-7-
dc.identifier.urihttps://er.nau.edu.ua/handle/NAU/52715-
dc.descriptionРекомендовано Вченою радою Національного авіаційного університету (протокол №2 від 20.02.2019 р.) Для студентів вищих навчальних закладів. Може бути корисним для аспірантів та науковців, які спеціалізуються в галузі проектування та дослідження мікросистемних пристроїв.uk_UA
dc.description.abstractРозглянуто основні типи мікросистемних пристроїв, їх характеристики, принципи роботи та базові технології мікроелектроніки і виготовлення об’ємних структур мікросистем; наведено класифікації мікросистемної техніки. Аналіз сучасного стану техніки нових поколінь і «критичних» технологій показує, що одним з найбільш глобальних науково-технічних напрямів, які бурхливо розвиваються і визначають нову революцію у сфері систем, реалізованих на мікрорівні, є мікросистемна техніка (МСТ) і створювані на її базі мікроелектромеханічні системи. Мікроелектромеханічні системи (МЕМС) це мікропристрої найрізноманітніших конструкцій і призначень, які виготовлені ідентичними методами з використанням модифікованих технологій мікроелектроніки. Об'єднує їх дві ознаки. Перша - це мікронні розміри, друга - наявність механічних рухомих частин, тобто МЕМС це системи, що містять в собі взаємопов’язані мініатюрні механічні та електричні компоненти мікронних розмірів. Зміст навчального посібника узгоджується з програмою спільного європейського проекту Curricula Development for New Specialization: Master of Engineering in Microsystems Design, який підтримується Європейським Союзом і має, зокрема, за мету впровадження сучасних мікросистемних технологій в поточну програму бакалаврів в українських університетах.uk_UA
dc.language.isoukuk_UA
dc.publisherНаціональний авіаційний університетuk_UA
dc.subjectбезпілотний літальний апаратuk_UA
dc.subjectвимірювальна масаuk_UA
dc.subjectмікроелектромеханічна системаuk_UA
dc.subjectмікромеханічний гіроскопuk_UA
dc.subjectмікросистемна технікаuk_UA
dc.subjectмагнітне поле Земліuk_UA
dc.subjectтермоелектричний генераторuk_UA
dc.subjectелектрорушійна силаuk_UA
dc.subjectрідинно-реактивний двигунuk_UA
dc.titleМікроелектромеханічні системи: Навчальний посібникuk_UA
dc.typeLearning Objectuk_UA
dc.subject.udc621. 3. 049. 76(075.8)uk_UA
Appears in Collections:Монографії, навчальні посібники кафедри авіаційних комп'ютерно-інтегрованих комплексів

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Підручник МЕМС 2019.pdfНавчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів17.91 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.